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EBARA 1306W-TF Turbo Pump Controllers分子泵電源

簡要描述:性能泵的排氣壓力與進氣壓力之比稱為

  • 產品型號:
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2023-10-17
  • 訪  問  量:401
詳情介紹

性能

泵的排氣壓力與進氣壓力之比稱為。壓縮比除與泵的級數(shù)和轉速有關外,還與氣體種類有關。分子量大的氣體有高的壓縮比。對氮(或空氣)的壓縮比為108~109;對氫為102~104;對分子量大的氣體如油蒸氣則大于1010。
泵的極限壓力為10-9Pa,工作壓力范圍為10-1~10-8Pa,為幾十到幾千升每秒(1L=10-3m3)。
渦輪分子泵必須在分子流狀態(tài)(氣體分子的平均自由程遠大于導管截面尺寸的流態(tài))下工作才能顯示出它的*性,因此要求配有工作壓力為1~10-2Pa的前級真空泵。
本身由轉速為10000~60000轉/分的直聯(lián)驅動。

 

特點

抽速大、無油、啟動快、無油污染、維護簡單
工作范圍:清潔的低真空~中、高真空,大氣~超高真空
極限真空:10-6/ 10-10torr

缺點:結構復雜、對軸承耐磨程度要求高、制造成本高 



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